Rapid micro- and nanostructuring by UV-LED-based microscope projection lithography
Abstract
A low-cost and simple UV-LED-based projection lithography approach enabling micro- and nanostructuring in seconds and with subwavelength resolution is demonstrated in this work.
Details
- Organisationseinheit(en)
-
PhoenixD: Simulation, Fabrikation und Anwendung optischer Systeme
Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)
- Externe Organisation(en)
-
Hochschule Bremen
- Typ
- Paper
- Publikationsdatum
- 04.06.2023
- Publikationsstatus
- Veröffentlicht
- Peer-reviewed
- Ja
- ASJC Scopus Sachgebiete
- Atom- und Molekularphysik sowie Optik, Astronomie und Planetologie, Steuerungs- und Systemtechnik, Elektrotechnik und Elektronik, Instrumentierung, Allgemeine Computerwissenschaft, Elektronische, optische und magnetische Materialien
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